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脉冲电弧蒸发源的研究

严一心  朱昌  杭凌侠  弥谦  蔡长龙  徐均琪  吴玲玲  
【摘要】:正 本文介绍西安工业学院“离子束”课题组研制的脉冲电弧蒸发源及其应用。脉冲电弧蒸发源是脉冲真空电弧离子镀设备的关键装置。它由阴极、阳极、起弧电极组成,阴极由被蒸发的材料制成,其工作原理基于冷阴极真空电弧放电,阴极材料蒸发并电离,形成等离子体,这些等离子体一方面在基片(工件)上形成镀层,另一方面维持着电弧放电。利用起弧电极之间的沿面放电来引弧,方法简单、引弧效率高(95%以上)。研制的脉冲电弧蒸发源结构简单、性能良好,主

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