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关于霍尔离子源的几个问题

尤大伟  黄小刚  任荆学  武建军  
【摘要】:正 等离子体离子束的辅助镀膜作用主要是:(1)它可以代替镀膜热烘烤,而仍然具有较强的薄膜结合力;(2)在辅助镀膜工业上应用的是一种端部霍尔电流加速器,其工作原理是在灯丝与阳极之间产生放电,形成等离子体。本文将深入讨论以上诸问题,目的在于改进霍尔源的设计,实现宽能、大束流、低气耗、低

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