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离子束溅射沉积Co膜光学特性尺寸效应的研究

范平  齐红基  叶敏  易葵  邵建达  范正修  
【摘要】:正 金属Co膜是软X射线多层膜中金属层薄膜的常用材料。已有实验结果表明,在短波段软X射线多层膜所要求的最优化设计金属层薄膜厚度范围内,至今沿未能发现有沉积方法使某种材料呈现良好的连续薄膜特性。金属膜层的不连续问题是淀积短波段软X射线多层膜反射镜的一个十分关键的问题。为了充分了解常用软X射线多层膜的金属薄膜层材料的特性,本文采用离

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