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强流脉冲离子束烧蚀等离子体沉积类金刚石薄膜

梅显秀  马腾才  董闯  
【摘要】:正 强流脉冲离子束(HIPIB)技术是在研究轻离子惯性约束核聚变和高能量密度物理地过程中发展起来的新技术,与激光处理、电子束处理和一般离子注入改性相比较具有能量转换率高、能量高、作用面积大、影响深度深等特点,在金属材料表面改性、镀膜、纳米粉末的合成等方面显示出良好的应用前景。利用强流脉冲离子束烧蚀等离子体制备薄膜具有其他方法无法比拟的优点:(1)非常高的沉积速率(0.1~1cm/s的瞬时沉积率)和低成本。(2)离子化的烧蚀等离子体可

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