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射频等离子体法制备类金刚石薄膜

张万虎  谭宇  师建涛  刘永强  胡仓陆  黄祥成  
【摘要】:正 用射频等离子体他学气相沉积法,以丁烷、氢气和氩气的混合气体为原料,在φ200mm锗基片上沉积出了均匀的金刚石薄膜。研究了类金刚石薄膜的特性及工艺参数对其性能的影响规律,给出该膜应用于红外装置元件的光谱性能。关键词类金刚石薄膜射频等离子体功率密度引言类金刚石薄膜(Diamond like Carbon,DLC)具有优良的物理化学特性,如坚硬耐磨、电阻率高、热导率高、抗腐蚀等。尤其在红外波段有很宽的透明区域。

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