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AP-CVD制备二氧化钛薄膜的工艺及特性研究

刘鹏  韩高荣  
【摘要】:正 由于TiO_2具有高的光催化效率和高的稳定性,同时又具有亲水亲油双亲的特殊功能,所以关于TiO_2的研究已经成为了材料研究领域里的一个热点。其中TiO_2镀膜玻璃是它最为重要的应用之一,这种玻璃具有自清洁的功能,有广阔的应用前景。本文研究了APCVD方法制备TiO_2薄膜的工艺,并且对反应温度和

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