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低镜面反射纳米硅镀膜玻璃制备及拉曼光谱表征

刘涌  宋晨路  韩高荣  
【摘要】:正 硅薄膜由于具有高的可见光吸收系数,对整个可见光都具有较高载流子浓度和电导率等特点,以及易于实现在线生产,成为制备了阳光控制镀膜玻璃的有效材料。但是硅镀膜玻璃具有高的镜面反射率,对环境造成“光污染”。本文通过控制薄膜的沉积温度和后退火工艺条件,对硅系薄膜进行微结构调制,制备纳米镶嵌复合薄膜,以期通过增加薄膜中纳米晶粒的数量来增强对可见光的散射实现降低镜面反射率的目的。

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