收藏本站
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

纳米碳化硅薄膜研制及其场发射特性研究

廖波  王静静  陆姗姗  严辉  王波  
【摘要】:正 本文采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)的方法,在单晶SiC衬底上分别制备出非晶SiC薄膜,及不同晶粒尺寸的纳米立方相SiC(β-SiC)薄膜。并通过控制参数,在较低的衬底温度下成功获得不同尺寸的纳米β-SiC薄膜。在本工作中,着重研究了主要工艺参数对纳米β-SiC薄膜生长特性的影响。实验结果表明:选择适当的衬底温度,使沉积粒子在衬底表面即充分扩散,又不形成大

知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前20条
1 高金海;李桢;张武勤;张兵临;;沉积时间对球状微米金刚石聚晶结构的生长及其场发射特性影响[J];光子学报;2011年08期
2 ;[J];;年期
3 ;[J];;年期
4 ;[J];;年期
5 ;[J];;年期
6 ;[J];;年期
7 ;[J];;年期
8 ;[J];;年期
9 ;[J];;年期
10 ;[J];;年期
11 ;[J];;年期
12 ;[J];;年期
13 ;[J];;年期
14 ;[J];;年期
15 ;[J];;年期
16 ;[J];;年期
17 ;[J];;年期
18 ;[J];;年期
19 ;[J];;年期
20 ;[J];;年期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 廖波;王静静;陆姗姗;严辉;王波;;纳米碳化硅薄膜研制及其场发射特性研究[A];TFC’03全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集[C];2003年
2 马会中;张兰;姚宁;张兵临;;类石墨薄膜的脉冲激光沉积及场致电子发射特性研究[A];2002年中国光学学会年会论文集[C];2002年
3 林晶;刘壮;孙智慧;高德;;负偏压对磁控溅射氧化铝薄膜的影响[A];中国真空学会2008年学术年会论文摘要集[C];2008年
4 李志兵;;碳纳米管场致电子发射的多尺度计算[A];全国计算物理学会第六届年会和学术交流会论文摘要集[C];2007年
5 林晶;刘壮;孙智慧;高德;;负偏压对PET上磁控溅射氧化铝薄膜的影响[A];中国真空学会2008学术年会论文集[C];2008年
6 王必本;王波;朱满康;张兵;严辉;;负偏压在碳纳米管生长过程中的作用研究[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅱ[C];2004年
7 林鸿溢;;纳米硅薄膜在场发射传感器件中纳米态结构潜力分析[A];第一届全国纳米技术与应用学术会议论文集[C];2000年
8 代伟;汪爱英;徐采云;吴国松;孙丽丽;;负偏压对线性离子束沉积类金刚石薄膜的结构和性能的影响[A];第七届全国表面工程学术会议暨第二届表面工程青年学术论坛论文集(二)[C];2008年
9 袁镇海;谢致薇;罗广南;戴达煌;;真空阴极电弧沉积类金刚石膜[A];首届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];1992年
10 李瑞文;鲜晓斌;邹觉生;;Be上磁控溅射离子镀Al膜结构[A];中国工程物理研究院科技年报(2002)[C];2002年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 蔡让岐;微波等离子体 CVD纳米金刚石场致电子发射研究[D];兰州大学;2002年
2 富笑男;硅纳米孔柱阵列及其金/铜复合体系的制备、结构与场发射特性[D];郑州大学;2006年
3 李晓春;磁过滤阴极弧等离子体非晶金刚石纳米尖点阵列制备及性能研究[D];兰州大学;2007年
4 姜燕;复杂环境下基底与扫描探针间相互作用的研究[D];南京航空航天大学;2009年
5 李世涛;透明导电ITO及其复合薄膜的研究[D];华中科技大学;2006年
6 宋旭波;等离子体及化学气相沉积法合成一维纳米材料及性能研究[D];北京大学;2008年
7 郁可;基于纳米结构的场致电子发射研究[D];华东师范大学;2004年
8 仲雪飞;一种常开型后栅极场致发射显示板的研究[D];东南大学;2005年
9 王涛;射频反应磁控溅射制备氮化铜纳米薄膜及其场发射性能研究[D];兰州大学;2009年
10 钱学旻;Ⅱ-Ⅵ族一维半导体纳米材料阵列的制备及其性质的研究[D];苏州大学;2009年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 李建超;触媒CVD低温制备纳米β-SiC薄膜及其性能研究[D];北京工业大学;2002年
2 李瑞山;电化学沉积类金刚石薄膜场发射机理的研究[D];兰州大学;2006年
3 丁佩;碳氮纳米管的制备、表征及场致电子发射特性研究[D];郑州大学;2003年
4 王晓娜;工作气压和负偏压对等离子体聚烯丙胺薄膜的结构组成与力学行为的影响[D];西南交通大学;2010年
5 赵永梅;硅基有机薄膜电致发光器件电极的制备和研究[D];郑州大学;2005年
6 李会军;氮化碳薄膜场致电子发射特性研究[D];郑州大学;2002年
7 王勇;FED专用电源及二极型FED数码显示驱动电路的设计与制作[D];郑州大学;2005年
8 李昌龄;碳纳米管模板法制备SiC纳米线的研究[D];天津理工大学;2006年
9 王广军;FED阴极制备及其驱动电路研究[D];郑州大学;2007年
10 陈媚媚;一维二氧化锡纳米材料的合成、表征及其物性研究[D];北京交通大学;2007年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 记者 谢苗枫林亚茗 梅志清;广东4教授“冲刺”中科院院士[N];南方日报;2007年
2 四川 樊峰;一款可靠实用的调频发射机自动切换装置[N];电子报;2008年
3 本报记者 冯卫东;车窗“兼职”显示屏[N];科技日报;2010年
4 河北 冯开慧;音色柔美小胆机[N];电子报;2002年
5 记者 李斌 沈路涛;显示技术的发展[N];新华每日电讯;2000年
6 本报记者 常新人;如何“显示”明天的精彩[N];中国高新技术产业导报;2002年
7 付毅飞;“明年造出大于30英寸彩色FED”[N];科技日报;2004年
8 湖北 余致民;用悬浮偏置法改善阴极输出胆机性能[N];电子报;2002年
9 记者 徐静 任朝亮 通讯员 李汉荣 王丽霞 邹莹 蒙丽;广州新增5院士历年最多[N];广州日报;2009年
10 吉林 王野平;用废旧UPS电源自制高性价比单端胆机[N];电子报;2006年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978