磁控溅射陶瓷靶制备氧化铟锡薄膜的结构与光电性能研究

【摘要】：正 氧化铟锡(Indium Tin Oxide,简称ITO)薄膜是一种用途广泛的透明导电材料。它不仅在民用玻璃方面起着重要的作用,如电机车挡风玻璃、汽车挡风玻璃、场、电致发光器件、液晶显示器件、建筑玻璃、太阳能电池、全息照相和液晶彩色电视等;而且在军事上也获得了广泛应用,如飞机、军舰、坦克挡风玻璃、雷达屏蔽保护等。从应用角度出发,通常要求ITO薄膜的成份是In_20_3、SnO_2,薄膜中铟锡低价化合物愈少愈好。因此,对所制备的ITO薄膜进行微观结构分析是必要的。