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离子增强沉积薄膜及其离子源的研究

任兆杏  沈克明  孟月东  何整风  韩永江  
【摘要】:正 根据中国科学院等离子体物理研究所从事多年的有关研究,以及近年来北京东方盖德真空科技有限公司有关的研发工作,作者越来越感觉离子增强沉积薄膜技术对沉积优质薄膜必不可少;因此,作为这一技术的支撑—离子源技术面迎来了重大的发展机遇,有必要加强有关基础和应用研究。

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