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CVD大面积薄膜制备技术及新型镀膜玻璃开发

韩高荣  汪建勋  
【摘要】:正 本文详细研究了化学气相沉积(CVD)法大面积薄膜材料的制备与技术、微结构和光电性能以及新型镀膜玻璃,采用先进的化学气相沉积(CVD)技术,应用纳米复合功能薄膜的特性,对传统浮法玻璃表面进行改性,开发出具有自主知识产权的浮法在线镀膜技术及无光污染热反射镀膜玻璃和低辐射镀膜玻璃等新型的节能镀膜玻璃产品。

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