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纳米功能薄膜材料

薛增泉  
【摘要】:正 微电子小型化的趋势,推动科技发展进入纳米时代,不仅电子学将进入纳电子学领域,物理学进入介观物理领域,各类科技,包括生物医学等都在探索纳米结构与特性。与这个发展形势相适应,真空学会所属的8个专委会中也出现了纳米科技的新学科领域。在2003年3月国际真空学会第93届执委会在北京举行,会议上讨论了将原来的冶金专委会改名为“表面工程专委会”,理由是关于冶金方面的文章和报告越来越少,更多的科技工作者转向与纳米结构有关的涂层和表面工程,即薄膜

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