收藏本站
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

脉冲真空电弧离子源工艺参数对薄膜厚度分布的影响

李刚  蔡长龙  杭凌侠  严一心  
【摘要】:薄膜厚度的均匀性是影响沉积方法应用的一个重要的因素。利用脉冲真空电弧离子镀技术在si基片上沉积出类金刚石薄膜,采用轮廓仪对膜的厚度进行了测量,研究了不同工艺参数对薄膜均匀性的影响。实验结果表明:脉冲离子源阴极和基片的距离、主回路工作电压以及沉积频率对薄膜均匀性有不同程度的影响,根据分析结果,找出最佳工艺参数。通过比较两种离子源的结果表明:离子源结构对其镀膜均匀性有较大的影响。

知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前20条
1 王文毅;真空离子镀膜技术的发展与现状[J];钟表;1996年01期
2 成艳,蔡伟,李洪涛,郑玉峰,赵连城;退火处理对TiNi合金钽镀层微观组织的影响[J];材料工程;2004年07期
3 小宫宗治;空心阴极(HCD)离子镀及其在工具工业中的应用(续完)[J];摩擦学学报;1983年02期
4 赵创业;军械零件的离子镀铝[J];表面技术;1984年04期
5 解正国,石铭德,庄谨;空心阴极放电离子镀法沉积氮化钛涂层[J];清华大学学报(自然科学版);1995年02期
6 肖国珍;离子镀氮化钛涂层[J];钛工业进展;1995年04期
7 陈勇;离子镀TiN膜和TiC膜在模具中的应用[J];机械制造;1996年01期
8 曾凤章,徐新乐,吴玉广;田口方法在离子镀上的应用展望[J];新技术新工艺;1996年05期
9 胡树兵,葛顺兰,陈湘一,杨亮波;3Cr2W8V钢模具离子镀TiN[J];金属热处理;1997年10期
10 李瑜煜,谢致薇,朱有兰,许卫铭;铝基离子镀氮化物膜的研究[J];金属热处理;1998年10期
11 薛钰芝,林纪宁,周立梅,李明浩,郭文有;氮分压对 TiN 离子镀层影响的研究[J];大连铁道学院学报;1998年01期
12 李承受 ,刘继民;物理气相沉积工艺及其在宇航工业中的应用[J];宇航材料工艺;1984年02期
13 刘桂敏,张守忠;LDH─1200多弧离子镀设备[J];中国仪器仪表;1995年01期
14 张德元,邓鸣,彭文屹,许兰萍,杨春燕;多弧离子镀(Ti_XAl_Y)N系超硬薄膜中Al的作用[J];材料科学与工程;1997年02期
15 胡树兵,张明,葛顺兰,陈湘一;多弧离子镀TiN涂层在冲孔冲模上的应用[J];金属热处理;1997年02期
16 于家斗;离子镀铝[J];稀有金属材料与工程;1990年03期
17 杨建宏,夏慧琴;多弧离子镀装饰膜工艺研究[J];太原重型机械学院学报;1994年04期
18 姜银方;离子镀统计质量管理及分析[J];江苏理工大学学报;1997年06期
19 李炳焕;周昌厚;;中空热阴极离子镀设备[J];机械工程师;1985年02期
20 田野崎康夫  ,服部光男 ,王隽品 ,刘曙琴;刀具的离子镀[J];真空;1981年05期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 李刚;蔡长龙;杭凌侠;严一心;;脉冲真空电弧离子源工艺参数对薄膜厚度分布的影响[A];中国真空学会五届三次理事会暨学术会议论文集[C];2002年
2 陈宝清;董闯;黄龙;;离子镀代替电镀技术现状[A];中国真空学会2006年学术会议论文摘要集[C];2006年
3 代明江;韦春贝;;离子镀技术及其应用[A];薄膜技术高峰论坛暨广东省真空学会学术年会论文集[C];2009年
4 王昆生;周斌;李晓斌;;新型IGBT递变式脉冲电弧喷涂实用装置[A];第四届全国表面工程学术交流大会论文集[C];2001年
5 潘国顺;雒建斌;路新春;;离子镀CrN硬质膜的组织结构及其抗空蚀性能[A];第七届全国摩擦学大会会议论文集(一)[C];2002年
6 黄承敏;巢永烈;吴珺华;;多弧离子镀对纯钛及钛合金表面改性的腐蚀性研究[A];2004年上海市口腔医学学术年会论文汇编[C];2004年
7 梁爱凤;徐志潜;金杰;王锦辉;明建川;过骥千;;电化学方法退镀氮化铬膜层的研究[A];2008年全国荷电粒子源、粒子束学术会议暨中国电工技术学会第十二届电子束离子束学术年会、中国电子学会焊接专业委员会第九届全国电子束焊接学术交流会、粒子加速器学会第十一届全国离子源学术交流会、中国机械工程学会焊接分会2008年全国高能束加工技术研讨会、北京电机工程学会第十届粒子加速器学术交流会论文集[C];2008年
8 马欣新;车仁超;王利;孙跃;夏立芳;曲建俊;齐毓霖;赵开礼;赵康令;;GCr15钢N,Ti等离子体基离子混合注入层的摩擦磨损性能[A];第六届全国摩擦学学术会议论文集(上册)[C];1997年
9 冯宏剑;赵杰;郑津辉;王菊霞;;不锈钢及其基底上TiN膜注银XRD、XPS、AES分析[A];2004年材料科学与工程新进展[C];2004年
10 许晓磊;王亮;;离子镀不锈钢膜的微观组织特征[A];第八次全国电子显微学会议论文摘要集(Ⅱ)[C];1994年
中国博士学位论文全文数据库 前5条
1 张扬伟;310不锈钢高温气体腐蚀行为及其防护涂层研究[D];大连理工大学;2002年
2 刘天伟;铀表面离子镀氮化物防护薄膜研究[D];大连理工大学;2006年
3 闫思博;高频耦合电弧热源特性及工艺性研究[D];北京工业大学;2012年
4 牛永;小电流脉冲TIG弧的高频特征[D];天津大学;2010年
5 刘强;小电流脉冲TIG焊接电源及电弧物理特征的研究[D];北京工业大学;2012年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 陈玲玲;多弧离子镀等离子体镀膜技术应用及其计算机控制[D];大连理工大学;2005年
2 黄奇;齿轮表面陶瓷生长工艺的研究[D];重庆大学;2003年
3 徐轶;磁控溅射和离子镀TiAIN涂层的往复滑动摩擦学行为研究[D];西南交通大学;2006年
4 赵广彬;非平衡闭合磁场磁控溅射设备的设计、制造及应用[D];四川大学;2005年
5 马志鹏;碳纤维增强铝基复合材料表面TiN离子镀膜工艺研究[D];哈尔滨工业大学;2006年
6 种艳琳;CrAlTiN镀层对微钻使用的有效性研究[D];西安理工大学;2006年
7 李士战;H13齿轮精锻模具失效分析与表面强化研究[D];江苏大学;2006年
8 曹玉宇;铸铁件表面新型复合耐磨镀层的研究[D];北京工业大学;2001年
9 唐长斌;钛合金表面离子束辅助沉积耐磨、抗蚀性膜层研究[D];西北工业大学;2005年
10 邓敏;H13钢表面PN+PVD复合处理的工艺及性能研究[D];武汉科技大学;2009年
中国重要报纸全文数据库 前3条
1 杨宏辉;纳米渗锌防腐工艺可实现资源节约[N];中国化工报;2008年
2 吴雪 蒋淑芬;太钢成功研发挂铅电极板[N];世界金属导报;2007年
3 肖海依 徐军伟;干式复合上胶量的控制与测算[N];中国包装报;2008年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978