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ITO靶材在溅射过程中结瘤行为的研究

姚吉升  唐三川  陈坚  王玺  周友元  黄军武  
【摘要】:本文报导了ITO靶材溅射时,靶材表面的时效变化和靶材表面结瘤物的组成及其微结构;探讨了结瘤物生成的原因和减缓瘤子生成的方法,对改善ITO膜质有较好的参考价值。

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