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用催化剂控制硅纳米线直径的研究

邢英杰  奚中和  薛增泉  俞大鹏  
【摘要】:本文研究了固-液-固(SLS)生长机制中催化剂与硅纳米线直径的关系,发现Si片上沉积的催化剂厚度和种类对硅纳米线的直径都有一定的影响。当使用Ni做催化剂时,硅纳米线的直径与Ni膜厚度有关。其中硅纳米线的最大直径随催化剂厚度减小而减小,但最小直径基本不改变。当用Au做催化剂时,硅纳米线的平均直径和直径分布最小(10 m~20 nm),但硅纳米线的直径不随Au膜厚度减小而减小。

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