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氦质谱检漏仪校准方法探讨

刘深  
【摘要】:氦质谱检漏仪本质上是一种应用质谱仪原理的气体分析仪,通过调谐仪器的手段,使氦束仅仅打击一个离子收集极,由离于束产生的电流被放大,并且它的大小在吸入试样中是氦气分压力之量度。因氦质谱检漏仪种类繁多,无统一的技术指标,一般按各自产品说明书所定的准确度指标来校准,全国计量部门尚无统一的规范,我单位进行了尝试,下面做简略的说明。

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