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用模板法制备取向Si纳米线阵列

李梦轲  王成伟  力虎林  
【摘要】:正 硅是半导体材料领域应用最广泛的材料,随着碳纳米管(carbon nanotubes,CNTs)制备技术及物理化学性质研究的进一步深入,硅纳米线(silicon nanowires,SiNWs)的研究也开始受到人们的重视,实现硅纳米线特别是取向硅纳米线阵列的制备,可使人们继续利用现有的大规模集成电路材料和生产技术,开发制备出一维高效量子器件和高效发光阵列器件及各种新型的电学和光学传感器.

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