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基于共振电离质谱的微区分析技术

戴松涛  金雷  董国轩  李春明  王世亮  田嘉禾  陈瓞延  
【摘要】:正 二次离子质谱(SIMS)是微区分析的一个重要手段。其基本原理是:当离子束(一次离子)在高真空下打到样品的某一微小区域时,就会从中溅射出二次离子、二次电子及中性原子等产物,用质谱法分析二次离子就可得到样品表面元素、同位素、化合物的组分及分子结构等信息。通过扫描一次离子束则可得到各种成分的面分布图像,经过逐层剥离还可得到各种成分的深度分布,二者结合可

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