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金属有机源分子束外延设备的研制

谢琪  
【摘要】:本文报道了金属有机源分子束外延设备的设计方案和技术特点。该设备最大样品尺寸为3英寸,3室结构,空气闭锁换样,6条气路。外延生长工艺过程由计算机控制。

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