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平板显示用ITO膜的大量生产技术

姜燮昌  
【摘要】:随着平板显示器产业的迅速发展,对敷有氧化铟锡(ITO)膜的透明导电玻璃的需求亦日益增长.本文分析了影响ITO膜性能的几个主要工艺参数,提出了适用于大量生产ITO膜的连续磁控溅射镀膜生产线的技术要求和设计方案,并给出了所生产的透明导电玻璃的技术性能指标。最后指出了ITO膜生产技术的今后发展方向。

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