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超洁净微环境设计参数之实验与模拟研究

蔡尤溪  胡石政  吴仁杰  骆志辉  
【摘要】:半导体制程IC线幅日趋细微化之下,微粒子的控制成为重要之课题,全面的高洁净层流流场耗能且高成本,利用制程机台特性之隔离技术,即所谓的微环境(Mini-Environment)设计已成为半导体洁净室设计之要点.所谓微环境设计即为于洁净度等级1000甚至10000之环境中,隔离出配合制程环境使用之高洁净度区域(Classl或更高).本研究旨在建立微环境设计参数对于气流分布状态之影响,并藉以评估不同状态下污染隔离之效果.本研究采用计算流体计算机模拟的方式,对可能影响微环境气流状态之设计参数进行模拟分析,期望能对微环境之参数设计有所探讨与贡献.本文所探讨之项目包括缓冲区之功效,工作人员对流场之影响,微环境外气流对微环境隔离之影响,本研究发现在具有缓冲区设计下,微环境可维持一个超洁净之空间,但洁净室FTU出风位置会对近微环境处之流场有所影响.

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