1 |
刘文耀,杜君文,应济;MEMS的概念及其国内外的研究状况[J];机械工程师;2001年02期 |
2 |
周兆英,王晓浩,叶雄英,王伯雄,李莎,刘卫丹;微型机电系统[J];中国机械工程;2000年Z1期 |
3 |
梁明富;赵翔;;微悬臂梁器件制作工艺的可靠性研究[J];江西科学;2009年03期 |
4 |
陈敏,苑国英,蒋庄德;药物控释MEMS系统中微型泵的设计与仿真[J];微电子技术;2003年04期 |
5 |
王庆良,王爱军,葛世荣,刘金龙;微机电系统纳米摩擦学研究进展[J];合成润滑材料;2003年01期 |
6 |
郝秀春,褚金奎,王立鼎;微夾钳的拓扑优化设计[J];机械科学与技术;2004年11期 |
7 |
孙翠霞;于翮;李德胜;俞坚;;微型电液动力泵的实验[J];功能材料与器件学报;2008年02期 |
8 |
田文超;贾建援;陈光焱;;MEMS微梁粘着动力分析[J];应用力学学报;2007年02期 |
9 |
邓扬明,李德胜;基于准LIGA工艺的微型传动齿轮制作[J];仪器仪表学报;2005年S2期 |
10 |
车志刚;;微制造技术与自主创新[J];精密制造与自动化;2006年03期 |
11 |
刘庆玲;翁海珊;邱丽芳;;新型单边直圆椭圆混合柔性铰链的柔度计算及其性能分析[J];工程力学;2010年10期 |
12 |
张圣卓;刘吉晓;李松晶;;采用无阀微泵的微调焦系统特性研究[J];液压与气动;2010年09期 |
13 |
刘瑞;汪红;丁桂甫;李雪萍;杨春生;;一种用于微拉伸系统的MEMS弹簧设计与制作[J];微细加工技术;2008年04期 |
14 |
刘立强,侯予,熊联友,陈纯正;切向小孔供气轴承数学模型的研究[J];机械工程学报;1998年04期 |
15 |
张广辉;刘占生;;径向气体轴承-柔性转子耦合系统动力学研究[J];航空动力学报;2010年06期 |
16 |
侯予,孙烨,黑丽民,王秉琛,陈纯正;橡胶圈加稳径向气体轴承偏心率和偏位角的特性研究[J];润滑与密封;2005年02期 |
17 |
侯予,熊联友,王瑾,刘井龙,陈纯正;箔片式动压径向气体轴承的发展[J];润滑与密封;2000年02期 |
18 |
熊联友,侯予,吴刚,王秉琛,李怡,陈纯正;轴向缝切向进气径向气体轴承的稳定性研究[J];润滑与密封;1998年01期 |
19 |
侯予,王秉琛,熊联友,陈纯正;平箔式箔片径向气体轴承的试验研究[J];西安交通大学学报;1999年03期 |
20 |
王蔚;田丽;鲍志勇;刘晓为;王喜莲;杨松涛;;一种新型压电式双向无阀微泵的研制[J];传感技术学报;2006年05期 |