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铱薄膜的MOCVD沉积效果研究

蔡宏中  胡昌义  陈力  王云  
【摘要】:以乙酰丙酮铱为前驱体,采用金属有机化合物化学气相沉积(MOCVD)技术在Mo基体上制备了Ir薄膜。研究了Ir的沉积效果与沉积温度及反应气体(O_2)间的关系。Ir薄膜的沉积速率与沉积温度绝对温度的倒数呈抛物线关系,当温度为750℃时,Ir的沉积速率达到最大值,沉积温度对Ir薄膜的显微形貌有显著影响;O_2的流量对薄膜的成分、形貌及结构等均有显著影响。

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