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AlN成核层对MOCVD系统中AlN生长的影响

李亮  李忠辉  董逊  周建军  孔月婵  姜文海  陈辰  
【摘要】:本文研究了MOCVD系统中AIN成核层对MOCVD系统中AIN外延薄膜生长的影响。通过改变了AIN成核层的生长条件,得到了不同生长温度、反应室压力、NH_3流量下AIN成核层与AIN薄膜外延生长的关系。

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