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MOCVD技术在中国

高鸿楷  
【摘要】:正MOCVD设备的发展MOCVD设备在80年代外国对中国禁运,中国真正有自己制造的MOCVD设备应该是1986年算起,1986年,当时的中国科学院上海冶金所,在彭瑞伍先生的组织下,制造了中国第一台真正的MOCVD设备。随后几年间中科院长

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