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全硅化场致发射冷阴极真空微电子二极管实验研究

关辉  朱长纯  罗援  
【摘要】:本文详细介绍了利用半导体硅制作的场致发射冷阴极,并在实验上获得了理想的场致发射二极管特性,为进一步利用半导体材料开发新型真空微电子器件提供了实验基础。

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