微波等离子体CVD法制备金刚石薄膜的研究

【摘要】：研究证实,低压汽相合成的金刚石薄膜具有与天然金刚石相同或相近的超硬、高热导率、高电阻率及抗蚀性等独特的物理和化学性质,因而具有重要的应用前景。除其优良的机械性能,光学性能外,它固有的优越的电学性质愈来愈受到电子学领域尤其是微波电子学和微电子学领域的专家的重视。近年来,国际上金刚石薄膜研究进展的非常迅速,我国目前对这一课题的研究也刚刚起步不久,因此金刚石薄膜的制备工艺,成膜机理的研究还需做大量的工作。该文详细论述了微波等离子体化学汽相沉积(MPCVD)法制备金刚石薄膜的工艺方法,并对影响金刚石晶粒的成核及其生长的若干因素进行了论述,同时也对金刚石薄膜形成的机理,从等离子体化学和量子化学角度出发进行了阐述,对甲基和原子氢在生成金刚石相及抑制生成石墨相的机理进行了探讨,另外对制备的金刚石薄膜的特性如形貌,喇曼散射谱进行了研究。