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基于嵌入式实时操作系统的硅片传输系统设计

王方勇  朱维涛  徐礼春  
【摘要】:设计了硅片加工、处理工艺中的硅片传输子系统,基于嵌入式实时操作系统Vxworks,实现了整个传输过程中全自动化、快速、轻柔、精确、无污染。

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