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全自动纳米多孔材料薄膜折射率和厚度测定系统

刘菊  沈志  常胜利  杨建坤  李修建  
【摘要】:由光学原理推出薄膜折射率和厚度的计算公式,利用步进电机的全自动定位来改变p光和s光下的入射角,测到纳米材料薄膜的反射率,样机测量结果显示:薄膜折射率的误差0.1,薄膜厚度的误差3%。

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