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测量Fabry-Perot标准具平面度的一种新方法

翟超  伊藤进一  
【摘要】:介绍了一种测量Fabry-Perot标准具平面度的新方法。通过测量F-P干涉环的直径计算出Fabry-Perot标准具的平面度,测量的不确定度可达λ/1800。

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