光学薄膜领域反应磁控溅射技术的进展

闫宏赵福庭

【摘要】：光学薄膜领域应用反应磁控溅射技术已有多年,反应磁控溅射对提高薄膜质量及降低工艺成本的作用,已受到业界的重视,正在进入工业生产之中。对光学薄膜领域中反应磁控溅射技术中的相关问题进行了评述,提出了一种可能的方案。

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中国期刊全文数据库

前20条

1	王孝东;张锦龙;马彬;焦宏飞;丁涛;程鑫彬;;高损伤阈值三倍频分离膜[J];强激光与粒子束;2011年07期
2	郝殿中;韩培高;宋连科;;衬底温度对电子束沉积LaF_3薄膜表面形貌的影响[J];曲阜师范大学学报(自然科学版);2011年03期
3	谢平;李斌;刘定权;张素英;;电子束蒸发沉积碲锗铅薄膜的微结构和化学组分研究[J];光学仪器;2010年06期
4	张锋;郝殿中;;基板温度对电子束沉积LaF_3薄膜紫外性能的影响[J];聊城大学学报(自然科学版);2011年01期
5	薛锦;王平秋;刘琼;代礼密;;掺杂Gd_2O_3对ZrO_2薄膜负非均匀性的影响[J];光学仪器;2009年06期
6	高鹏;阴晓俊;胡雯雯;赵帅锋;王瑞生;于振毅;徐秋玲;费书国;;《光学和光学仪器-光学薄膜》新国标的制定[J];光机电信息;2011年09期
7	王治安;王军生;童洪辉;;PEM控制中频反应磁控溅射制备TiO_2薄膜的研究[J];真空;2011年04期
8	单永光;刘晓凤;贺洪波;范正修;;光学薄膜中节瘤缺陷研究进展[J];强激光与粒子束;2011年06期
9	朱铄金;朱丽慧;黄清伟;;6.5～14μm红外长波通滤光片正面膜系的研制[J];光学仪器;2009年03期
10	侯艳超;黄剑锋;周璇;曹丽云;吴建鹏;;n(Sm~(3+))/n(S_2O_3~(2-))对液相自组装法制备Sm_2S_3薄膜的影响[J];人工晶体学报;2011年04期
11	鄢秋荣;黄伟;张云洞;;周期性渐变折射率光学薄膜的设计及光谱特性分析[J];光学仪器;2009年05期
12	叶帆;顾兵;黄晓琴;;薄膜材料折射率色散的进展与展望[J];光学仪器;2010年04期
13	姜雪宁;孟昕;孟宪芹;张庆瑜;;不同周期数GDC/YSZ多层电解质薄膜的电学性能与结构稳定性[J];功能材料;2011年09期
14	储志强;;国内外磁控溅射靶材的现状及发展趋势[J];金属材料与冶金工程;2011年04期
15	李芬;朱颖;李刘合;卢求元;朱剑豪;;磁控溅射技术及其发展[J];真空电子技术;2011年03期
16	聂竹华;李合琴;都智;储汉奇;宋泽润;;直流/射频反应磁控溅射法制备W掺杂VO_X薄膜的工艺和性能[J];真空;2011年04期
17	;[J];;年期
18	;[J];;年期
19	;[J];;年期
20	;[J];;年期

中国重要会议论文全文数据库

前10条

1	闫宏;赵福庭;;光学薄膜领域反应磁控溅射技术的进展[A];2004年光学仪器研讨会论文集[C];2004年
2	洪冬梅;朱震;刘国喜;;激光器使用的光学薄膜[A];2004年光学仪器研讨会论文集[C];2004年
3	洪冬梅;陈生;曹海云;朱震;王春;;红外用光学薄膜[A];2004年光学仪器研讨会论文集[C];2004年
4	宋秋明;黄烽;李明;谢斌;王海千;;磁控溅射制备梯度折射率硅氧化物材料光学薄膜[A];中国光学学会2006年学术大会论文摘要集[C];2006年
5	姚兰芳;沈军;汪国庆;吴广明;吴兆丰;王珏;;蒸发诱导自组装法制备多孔二氧化硅光学薄膜[A];2004年光学仪器研讨会论文集[C];2004年
6	王济洲;熊玉卿;刘宏开;陈焘;;一种双通道窄带滤光片的设计与制备(英文)[A];真空技术与表面工程——第九届真空冶金与表面工程学术会议论文集[C];2009年
7	王济洲;熊玉卿;刘宏开;王多书;;一种双通道窄带滤光片的设计与制备[A];第九届真空冶金与表面工程学术会议论文摘要集[C];2009年
8	林炳;刘定权;张凤山;;离子束刻蚀光学薄膜的速率定标技术[A];2004年光学仪器研讨会论文集[C];2004年
9	饶觉陶;梁瑾青;李科;;光学薄膜保护封闭漆[A];现代光学制造技术论文集[C];2002年
10	张殷华;黄伟;张云洞;;光学薄膜附着力测量方法[A];光电技术与系统文选——中国光学学会光电技术专业委员会成立二十周年暨第十一届全国光电技术与系统学术会议论文集[C];2005年

中国博士学位论文全文数据库

前10条

1	白胜元;光学薄膜设计及其在光波分复用系统中的应用[D];浙江大学;2001年
2	薛晖;光学薄膜光学特性检测中若干关键问题的研究[D];浙江大学;2009年
3	韩军;光学膜厚宽带监控关键技术研究[D];西安电子科技大学;2011年
4	李再金;半导体激光器腔面光学膜关键技术研究[D];中国科学院研究生院（长春光学精密机械与物理研究所）;2010年
5	王贺权;太阳电池减反射薄膜的研究[D];东北大学;2005年
6	佟洪波;反应磁控溅射制备AlN薄膜及其发光性能研究[D];东北大学;2008年
7	江美福;反应磁控溅射法制备的氟化类金刚石薄膜的结构和性能研究[D];苏州大学;2005年
8	沈伟东;基于MOEMS技术的光学调制器研究[D];浙江大学;2006年
9	史金辉;消偏振分光镜的设计与特性分析[D];哈尔滨工程大学;2007年
10	王成;介质薄膜膜基体系力学光学特性研究[D];中国科学院研究生院（长春光学精密机械与物理研究所）;2005年

中国硕士学位论文全文数据库

前10条

1	刘鹏程;光热偏转法评价光学薄膜的激光损伤[D];浙江大学;2003年
2	张淑娜;光学薄膜相位特性测试的研究[D];浙江大学;2011年
3	史金辉;消偏振分光棱镜膜系分析与设计[D];哈尔滨工程大学;2005年
4	宋玲玲;光学薄膜优化设计的实现[D];合肥工业大学;2006年
5	林宇翔;光学薄膜厚度实时监控系统及其反演的研究[D];浙江大学;2004年
6	鞠兵;高精度数字式光学膜厚监控系统的研制[D];四川大学;2005年
7	冯君刚;反可见、中红外透10.6μm高能激光分色镜的研制[D];中国科学院研究生院（长春光学精密机械与物理研究所）;2005年
8	林琦;高能激光与光学介质薄膜作用机理的研究[D];长春理工大学;2010年
9	黄昱勇;光学薄膜在投影显示和光开关中的应用[D];浙江大学;2002年
10	邓洪祥;高功率激光作用下光学薄膜的场损伤研究[D];电子科技大学;2007年

中国重要报纸全文数据库

前10条

1	本报记者马守贵;你还记得乐凯吗[N];中国化工报;2011年
2	万军;光学薄膜与材料领域的领军人[N];中国企业报;2011年
3	常建龙　王婧郝晓丽;徐耀：光学薄膜领域的探索者[N];科技日报;2011年
4	证券时报记者李小平;康得新有望替代三星供货京东方[N];证券时报;2011年
5	本报记者赵芮　孙晓青李湘虹;他从“千人计划”中脱颖而出[N];人民日报海外版;2009年
6	DisplayBank;光学薄膜核心专利日本企业的申请数位居前列 FUJI FILM偏光板用核心专利名列各企业之首[N];电子资讯时报;2007年
7	记者郭瑞坤　张小明;ST天龙子公司光学薄膜项目开工[N];上海证券报;2011年
8	荣超;中光学欲“影”响世界[N];人民邮电;2010年
9	余卫华;富士胶片计划增产液晶用光学薄膜三成[N];电子资讯时报;2008年
10	本报记者郑惠华;中国乐凯 “变身”光学薄膜制造商[N];河北经济日报;2011年

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