【摘要】：随着材料尺寸、加工尺寸的日趋减小,粘着力对微电子机械性能影响越来越大。本文建立了DMD弹性片同基底之间纳米接触的物理模型;根据Hamaker理论和赫兹理论,用连续方法推导出粘着力的力学模型;仿真出粘着力及变形面同接触间距的关系;仿真结果同相关实验一致;从而为DMD设计,加工及纳米碰撞、纳米摩擦的研究提供理论基础。