收藏本站
收藏 | 论文排版

光学薄膜在线宽光谱膜厚控制仪

张诚  卢维强  王涌天  郝群  
【摘要】:本文介绍了一种高性能的实时宽光谱膜厚控制仪的设计与制作,详细介绍了该系统的工作方式及设计思想。实验表明该系统可以用于光学薄膜在线实时监控和光学薄膜光谱特性检测,并可能基于该系统开发薄膜自动控制系统。

知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前20条
1 刘雄英,黄光周,于继荣;实时光学薄膜膜厚监控系统研究[J];真空科学与技术;2005年04期
2 马志亮;王夏;闫宏;;光学干涉滤光片的石英晶体膜厚自动监控技术[J];光学仪器;2005年06期
3 张诚,卢维强,王涌天;基于宽光谱监控的光学薄膜自动控制技术[J];光子学报;2004年09期
4 ;光学薄膜参数测试[J];中国光学与应用光学文摘;2001年05期
5 ;文献索引[J];光学精密工程;1978年02期
6 ;其它[J];中国光学与应用光学文摘;2000年02期
7 占美琼;;提高光学薄膜激光损伤阈值的途径[J];上海第二工业大学学报;2010年04期
8 林开华;郑宣明;;反应性离化团束制备光学薄膜新技术[J];光学精密工程;1991年05期
9 ;光学薄膜参数测试[J];中国光学与应用光学文摘;2000年02期
10 刘旭,王滨,顾培夫,唐晋发;光学薄膜的等离子体离子镀的研究[J];光学学报;1995年06期
11 黄祥成,杨华,杨益民,王金堂,张万虎,师建涛;紫外光学薄膜的镀制结果[J];应用光学;1998年05期
12 胡海洋,范正修,刘晔,赵强,范瑞瑛,黄日成;杂质对光学薄膜激光损伤阈值的影响[J];中国激光;1999年06期
13 黄心耕,刘江,王素英;从欧洲真空镀膜会议分析光学薄膜及其技术的研究和发展[J];光学仪器;1999年Z1期
14 王哲;;溅射光学薄膜的评价[J];光学精密工程;1976年03期
15 周鹏飞,高扬;离子技术在光学薄膜中的应用[J];仪表技术与传感器;1987年03期
16 叶志镇,唐晋发;直流反应磁控溅射氧化物光学薄膜及其性能研究[J];浙江大学学报(工学版);1989年06期
17 李庆波,张伟;周期结构膜系叠加的理论探讨[J];哈尔滨工程大学学报;1993年03期
18 李庆波,阮顺龄,张衍阁;综合几种缺陷时薄膜的光谱特性[J];哈尔滨工程大学学报;1995年01期
19 ;光学薄膜参数测试[J];中国光学与应用光学文摘;1999年05期
20 张诚,卢维强,王涌天,郝群;光学薄膜在线宽光谱膜厚控制仪[J];仪器仪表学报;2003年S1期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 马云飞;王自鑫;江绍基;佘卫龙;朱析;李宝军;蔡志岗;;光学镀膜近红外监控的信号压噪[A];大珩先生九十华诞文集暨中国光学学会2004年学术大会论文集[C];2004年
2 洪冬梅;朱震;刘国喜;;激光器使用的光学薄膜[A];2004年光学仪器研讨会论文集[C];2004年
3 洪冬梅;陈生;曹海云;朱震;王春;;红外用光学薄膜[A];2004年光学仪器研讨会论文集[C];2004年
4 姚兰芳;沈军;汪国庆;吴广明;吴兆丰;王珏;;蒸发诱导自组装法制备多孔二氧化硅光学薄膜[A];2004年光学仪器研讨会论文集[C];2004年
5 王济洲;熊玉卿;刘宏开;陈焘;;一种双通道窄带滤光片的设计与制备(英文)[A];真空技术与表面工程——第九届真空冶金与表面工程学术会议论文集[C];2009年
6 王济洲;熊玉卿;刘宏开;王多书;;一种双通道窄带滤光片的设计与制备[A];第九届真空冶金与表面工程学术会议论文摘要集[C];2009年
7 张诚;卢维强;王涌天;郝群;;光学薄膜在线宽光谱膜厚控制仪[A];中国仪器仪表学会第五届青年学术会议论文集[C];2003年
8 黎永志;黄光周;帅福利;于继荣;;光学薄膜厚度的实时监控算法研究[A];中国真空学会2006年学术年会论文集[C];2006年
9 闫宏;赵福庭;;光学薄膜领域反应磁控溅射技术的进展[A];2004年光学仪器研讨会论文集[C];2004年
10 林炳;刘定权;张凤山;;离子束刻蚀光学薄膜的速率定标技术[A];2004年光学仪器研讨会论文集[C];2004年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 白胜元;光学薄膜设计及其在光波分复用系统中的应用[D];浙江大学;2001年
2 薛晖;光学薄膜光学特性检测中若干关键问题的研究[D];浙江大学;2009年
3 韩军;光学膜厚宽带监控关键技术研究[D];西安电子科技大学;2011年
4 李再金;半导体激光器腔面光学膜关键技术研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2010年
5 沈伟东;基于MOEMS技术的光学调制器研究[D];浙江大学;2006年
6 史金辉;消偏振分光镜的设计与特性分析[D];哈尔滨工程大学;2007年
7 王成;介质薄膜膜基体系力学光学特性研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2005年
8 陈海星;波分复用系统中基于法布里—珀罗腔的光学薄膜滤波器研究[D];浙江大学;2005年
9 黄伟;中远红外激光薄膜技术研究[D];四川大学;2005年
10 孙雪铮;光学薄膜中超棱镜效应的研究[D];浙江大学;2008年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 刘鹏程;光热偏转法评价光学薄膜的激光损伤[D];浙江大学;2003年
2 张淑娜;光学薄膜相位特性测试的研究[D];浙江大学;2011年
3 史金辉;消偏振分光棱镜膜系分析与设计[D];哈尔滨工程大学;2005年
4 宋玲玲;光学薄膜优化设计的实现[D];合肥工业大学;2006年
5 林宇翔;光学薄膜厚度实时监控系统及其反演的研究[D];浙江大学;2004年
6 袁文佳;离子束溅射制备光学薄膜的研究[D];浙江大学;2011年
7 鞠兵;高精度数字式光学膜厚监控系统的研制[D];四川大学;2005年
8 冯君刚;反可见、中红外透10.6μm高能激光分色镜的研制[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2005年
9 林琦;高能激光与光学介质薄膜作用机理的研究[D];长春理工大学;2010年
10 黄昱勇;光学薄膜在投影显示和光开关中的应用[D];浙江大学;2002年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 本报记者 马守贵;你还记得乐凯吗[N];中国化工报;2011年
2 万军;光学薄膜与材料领域的领军人[N];中国企业报;2011年
3 常建龙 王婧 郝晓丽;徐耀:光学薄膜领域的探索者[N];科技日报;2011年
4 证券时报记者 李小平;康得新有望替代三星供货京东方[N];证券时报;2011年
5 本报记者 赵芮 孙晓青 李湘虹;他从“千人计划”中脱颖而出[N];人民日报海外版;2009年
6 DisplayBank;光学薄膜核心专利日本企业的申请数位居前列 FUJI FILM偏光板用核心专利名列各企业之首[N];电子资讯时报;2007年
7 记者 郭瑞坤 张小明;ST天龙子公司光学薄膜项目开工[N];上海证券报;2011年
8 荣超;中光学欲“影”响世界[N];人民邮电;2010年
9 余卫华;富士胶片计划增产液晶用光学薄膜三成[N];电子资讯时报;2008年
10 本报记者 郑惠华;中国乐凯 “变身”光学薄膜制造商[N];河北经济日报;2011年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978