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微机械传感器最新发展

黄俊钦  樊尚春  刘广玉  
【摘要】:近年来,微机械传感器受到了国际传感技术界的广泛关注,本文针对七个具体的微机械传感器,介绍其最新发展动态。这七个微机械传感器是;三轴加速度计,表面微机械陀螺(角速度传感器),微机械磁通门传感器,世界上最小的压力传感器,微机械科氏质量流量计,毫米波图像传感器和微机械二氧化碳传感器(1cm~3)。文中简要介绍了它们的基本结构,敏感机理,特点等,从中可以感受到微机械传感器已成为传感技术中有重要应用前景的组成部分。

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