基于振动理论的微惯性测量元件

徐景硕

【摘要】：对基于振动理论的微型惯性测量元件:半球谐振子陀螺仪、微机电系统惯性测量元件的原理、性能和研究现状作了分析,最后指出了惯性测量元件的发展方向。

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前20条

1	缪磊;董再励;陈浩然;李文荣;王越超;;基于光学聚焦方法的热驱动微执行器位移测量[J];红外与激光工程;2005年06期
2	安鹏;苑伟政;张承亮;;基于微机械加速度计的振速水听器的设计与分析[J];传感技术学报;2006年05期
3	V.Dragoi;P.Lindner;H.Kirchberger;P.Kettner;;半导体硅片键合:MEMS制造工序中的成熟技术(英文)[J];电子工业专用设备;2007年01期
4	解磊;苏伟;陈泉根;;微电容加速度计系统的设计[J];传感器与微系统;2007年11期
5	严伟;张筱朵;徐帆;徐波;;MEMS设计中的2.5维六面体网格划分(英文)[J];光学精密工程;2009年06期
6	李文明;李骁骅;杨月寒;刘海文;杨谟华;于奇;;微波MEMS滤波器的研究进展[J];空间电子技术;2010年01期
7	高钟毓;静电场耦合微机电系统的动态模型[J];机械工程学报;2001年03期
8	钟莹;张国雄;张涛;冷长林;;时频分析在激光多普勒信号处理中的应用[J];光学技术;2007年02期
9	宋少云;;MEMS的协同仿真[J];计算机仿真;2007年04期
10	王佩红;戴旭涵;赵小林;;微型电磁式振动能量采集器的研究进展[J];振动与冲击;2007年09期
11	任杰;樊尚春;;硅基谐振式微机械加速度计的设计与仿真计算[J];传感技术学报;2007年09期
12	梁庆;苑伟政;虞益挺;乔大勇;;SiO_2牺牲层刻蚀实验的研究与分析[J];压电与声光;2008年03期
13	简福建;李伟华;;MEMS工艺模拟与有限元软件接口的实现(英文)[J];光学精密工程;2009年07期
14	沈培宏;;使用激光光源的微型投影机[J];灯与照明;2009年03期
15	侯世博;李醒飞;贺少辉;;基于激光多普勒效应的MEMS的运动检测[J];传感器与微系统;2009年10期
16	嵇钧生;微机电系统及其测量问题[J];测控技术;1999年01期
17	李仁锋,文贵印,程永生;MEMS高g值加速度计力学分析[J];传感器技术;2005年07期
18	何茂先;殷晨波;涂善东;;微型传感器在汽车工程中的应用[J];传感器与微系统;2006年02期
19	曲大成;高世桥;刘玉树;;分布式微机电系统的多主体控制[J];电子科技大学学报;2006年03期
20	江长凡;杨开英;王攀;范衠;韩明;;基于遗传算法的微机电系统鲁棒性优化设计[J];计算机与数字工程;2006年08期

中国重要会议论文全文数据库

前10条

1	徐景硕;;基于振动理论的微惯性测量元件[A];中国仪器仪表学会第三届青年学术会议论文集（下）[C];2001年
2	王晓东;余家欣;陈磊;钱林茂;;水分和氧气对单晶硅摩擦化学行为的影响[A];2011年全国青年摩擦学与表面工程学术会议论文集[C];2011年
3	陈十一;Gary D Doolen;聂小波;;应用格子Boltzmann方法(LBM)模拟微机电系统(MEMS)中的流动[A];自然、工业与流动——第六届全国流体力学学术会议论文集[C];2001年
4	张俊峰;李兴国;娄国伟;;MEMS技术在微小型探测系统中的应用[A];2005'全国微波毫米波会议论文集（第二册）[C];2006年
5	王立鼎;;微机电系统的发展趋势及国内外研发状况(摘要)[A];中国科协2001年学术年会分会场特邀报告汇编[C];2001年
6	贾继伟;金延中;张凤翠;;浅析微机电(MEMS)系统技术及其应用[A];十三省区市机械工程学会第五届科技论坛论文集[C];2009年
7	毛刚;顾启泰;;微型惯性测量组合的发展[A];全国飞机与船舶通信导航学术研讨会论文集（上）[C];2000年
8	郭永献;贾建援;梁丽萍;;MOMES光开关的研究现状及展望[A];2007'中国仪器仪表与测控技术交流大会论文集（二）[C];2007年
9	何庆;索智群;乔东海;;单晶硅电容式低频传声器的设计和制作[A];2009’中国西部地区声学学术交流会论文集[C];2009年
10	潘昕;汪承灏;徐联;魏建辉;;防粘连硅微电容传声器[A];2006’和谐开发中国西部声学学术交流会论文集[C];2006年

中国博士学位论文全文数据库

前10条

1	祝捷;微机电系统自聚焦压电声学换能器[D];武汉大学;2010年
2	曹钟慧;应用于光通信的非硅基底光开关与光衰减器的研究[D];浙江大学;2005年
3	钟莹;微机电系统谐振器面内运动检测的激光多普勒方法[D];天津大学;2005年
4	鲍俊峰;基于微加工技术的光开关及光互连结构研究[D];浙江大学;2006年
5	余洪斌;MEMS-DMs理论设计及工艺研究[D];华中科技大学;2005年
6	范细秋;纳米压印及MEMS仿生功能表面制备的研究[D];华中科技大学;2006年
7	孙吉勇;MEMS光栅光调制器阵列及投影显示系统的光学分析和实验[D];重庆大学;2008年
8	黄腾超;微流控集成光波导光开关的研究[D];浙江大学;2005年
9	李伟剑;微机电系统的多域耦合分析与多学科设计优化[D];西北工业大学;2004年
10	赵志强;一种基于MEMS和细胞电场效应的细胞融合方法的研究[D];重庆大学;2006年

中国硕士学位论文全文数据库

前10条

1	李杨;三维无线能量传输技术在体内微机电系统中的实验研究[D];华南理工大学;2011年
2	李宏;新型压电微驱动器在光学微机电系统中的应用研究[D];四川师范大学;2012年
3	熊建功;基于MEMS细胞电融合芯片及其外围驱动电路的设计[D];重庆大学;2006年
4	邓学亮;引信安全系统中高G值双稳态微加速度开关研究与设计[D];南京理工大学;2007年
5	李冠男;基于UV-LIGA技术的毛细管电泳芯片设计与制备[D];华中科技大学;2006年
6	谢明媚;z轴硅微陀螺仪残余应力分析及结构优化研究[D];东南大学;2004年
7	刘佳;基于MEMS微致动器的碟翼流动控制研究[D];西北工业大学;2006年
8	龚怀民;基于MEMS的微机械滤波器研究[D];电子科技大学;2006年
9	胡宁;基于SOI的细胞电融合原理性芯片的研制与细胞排队及融合实验研究[D];重庆大学;2007年
10	王晶东;基于激光位移量测量的微小摩擦力测试系统研究[D];长春理工大学;2008年

中国重要报纸全文数据库

前10条

1	陈丹;科学家研制出可自我校准的微机电系统[N];科技日报;2010年
2	本报记者韩义雷　过国忠;无锡加快建设物联网“感知中国”中心[N];科技日报;2009年
3	恩智浦半导体高级总监及SIP项目经理 Alain Rougier　恩智浦创新高级总监 Eef Bagerman 恩智浦营运后端创新策略总监 Caroline Beelen-Hendrikx;SoC与SiP各有千秋两者之争仍将继续[N];中国电子报;2008年
4	本报记者梁靓;2009年微型投影悄然兴起[N];中国电子报;2009年
5	曹东;我国首颗内置传感器芯片在上海张江诞生[N];中国高新技术产业导报;2009年
6	;用事业测量人生[N];山西日报;2004年
7	本报记者许泳;MEMS：越感知越火热[N];计算机世界;2010年
8	本报记者王虹;微型机械于微细处见神奇[N];中国机电日报;2001年
9	本报记者赵艳秋;MEMS：软件算法是关键[N];中国电子报;2008年
10	;21世纪的航空前沿技术[N];北京科技报;2002年

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