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无间隙极限环的超精密机床伺服控制技术研究

王立松  董申  苏宝库  张飞虎  
【摘要】:超精密机床伺服系统中,间隙非线性环节是影响系统性能的主要原因。为消除间隙非线性的影响,本文提出了双回路的控制方法,有效地防止了系统中自持振荡的产生。将该方法应用于实际系统中,得到了闭环定位时系统的最大稳态输出误差小于±20nm的控制精度。

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