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基于虚拟测试技术的高精度温度测控系统

刘庆纲  杨勇  胡小唐  藤井贤一  田中    
【摘要】:为了获得更高的测量精度和最小的测量不确定度,在进行纳米级测试任务过程中,人们需要对环境进行更严格的测试及控制,如空气压力、湿度、温度、振动等。其中温度的测量和控制对纳米级精度的测量来说,是至关重要的。本文介绍一种基于虚拟测试技术建立的在高精度球体直径测量激光干涉系统中采用的温度测量和控制系统。

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