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薄膜式锰铜传感器的超高压力标定

杜晓松  郝建德  杨邦朝  周鸿仁  
【摘要】:为拓展锰铜传感器的高压测试上限,本文采用薄膜技术研制了一种新型的锰铜传感器。该传感器采用氧化铝封装,后置式结构,两步薄膜工艺制作。利用二级轻气炮进行了40~107GPa的冲击高压加载,试验波形呈现出一理想的平台,寿命为1μs。标定曲线P_x(GPa)=6.0371+29.819(△R/R_0)+21.591(△R/R_0)~2-6.8267(△R/R_0)~3近似于一条直线,精度达±3%。

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