红外热像光学镜组轴偏测量仪
【摘要】:原则设计了用于8—14μm红外光学镜组的轴偏检测系统,系统包括CO_2激光器、可调焦望远镜、TGS热释电热像仪与计算机配合的数据读出及处理、径向跳动≤lμm,轴向晃动≤l″的高精密基准轴工作台。测量精度:角度≤2″,线度≤0.02mm。编制了轴偏数据处理程序。更换光源(用波长3.39μm的He—Ne激光代替CO_2激光)系统可用于3—5μm红外光学系统的测量。
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