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反射式闪耀光栅楔形平板用于转角测量

陶卫  浦昭邦  万松  
【摘要】:本文描述一种用双频激光干涉法测量转角的新方法,在玻璃楔形平板上加工反射式闪耀光栅,用该光栅楔形平板作为一个新的部件,以代替反射用的角锥棱镜,不仅简化了测量装置,减小了干涉仪的尺寸,而且装调方便。该装置不但可以测量转角,还可用于测量360°整周角度。本文给出了测量原理和测量装置,还给出了减小和补偿测量误差的方法。用于转角测量的实验表明,该装置的测量精度高,测角分辨力可达0.02″。

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