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铒注入GaN的缺陷研究

卞留芳  陈维德  
【摘要】:正掺稀土 GaN 在同一基片可望发出不同波长的光,包括红、绿、蓝和红外光。它独特的发光特性有重要的潜在应用而引起人们的很大兴趣和重视。离子注入是实现 GaN 薄膜稀土掺杂的重要方法之一,它具有和现有的集成技术兼容等许多优点。但是离子注入样品中注入缺陷的存在一直是人们关

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