收藏本站
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

氮化铝表面氧吸附研究

耶红刚  陈光德  
【摘要】:正AIN 是一种具有广泛应用前景的光电子材料,表面氧化对其性质具有重要影响。本文用基于密度范函理论的第一性原理方法对纤锌矿结构 AIN(0001)表面氧吸附问题进行了模拟计算研究,计算了四个不同氧覆盖度(0.25、0.5、0.75和1个氧单原子层)和表面六边形中心(H3)、次表面 N 原子上方(T4)、表面 Al 原子上方(atop)三个不同吸附位置下的结构和形成能。结果发现形成能总体随氧覆盖度增加而增加。0.25的吸附层具有最低的形成能,比清洁表面还要低,H3和 T4是稳定的吸附位置,前者比后者还要低1.67eV/(2×2),atop 位置经过优化后0原子驰豫到 H3位置。当覆盖度增加到0.5时,表面晶格发生明显畸变,只有 H3一个吸附位置能得到稳定结构,一个 N-Al 键被0-Al 键取代。当覆盖度增加到0.75,吸附位置在 H3、T4、和 atop 时分别有 N=N、N=0、0 =0键形成,意味着有气体分子生成,此现象己在实验中观察到。当具有一个完整氧吸附层时,三个吸附位置都能够形成稳定结构,0原子在 H3位置时发生了表面重构,表面 Al 和0原子形成类似理想 AIN 表面的正六边形排列双原子层,但是和内层 AIN 六边形结构有一个横向平移;T4位置发生

知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 张福兰;;N_2在Co掺杂Ru(001)表面吸附的DFT研究[J];原子与分子物理学报;2010年04期
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 耶红刚;陈光德;;氮化铝表面氧吸附研究[A];第十六届全国半导体物理学术会议论文摘要集[C];2007年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978