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纳米氧化铟和稀土共掺杂二氧化硅薄膜的结构和光学性质研究

林涛  万能  徐骏  徐岭  李伟  陈坤基  
【摘要】:正稀土掺杂硅基薄膜由于在未来的全光通讯,全光计算等方面有着诱人的应用前景以及便于与目前的半导体工艺相兼容等优势,近年来得到了广泛的重视和研究。同时,由于稀土掺杂具有发光效率高,发光波长多样,光色纯正,因而在可见光波段也有着很好的应用价值。但由于薄膜/衬底界面, 薄膜表面等因素的影响,相对于体材料,某些稀土掺杂薄膜材料的发光效率降低,发光强度减弱,

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