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聚焦离子束(FIB)快速制备透射电镜样品

周伟敏  徐南华  
【摘要】:正 高性能聚焦离子束系统(简称FIB)具有许多独特且重要的功能,已广泛地应用于半导体工业中。近年来,FIB在材料科学研究领域也有了广泛的应用。本文主要介绍利用FIB快速制备TEM样品的方法。实验设备为日本精工公司生产的型号为

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