收藏本站
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

反应溅射Ti-Si-N纳米晶复合薄膜研究

戴嘉维  胡祖光  祝新发  陈练  李戈扬  
【摘要】:正 Veprek等报道了采用气相沉积方法获得硬度高达80~105CPa的Ti-Si-N薄膜,令人惊讶!尽管尚无人从实验上重复出这一结果,但大量研究表明,在TiN或其他过渡金属化合物中加入Si,形成以Si_3N_4界面相分隔并包裹氮化物纳米晶的微结构的确是一条通过微结构设计获得高硬度薄膜的有效途

知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前20条
1 ;福建物质结构研究所稀土无机纳米晶荧光生物标记材料研究获进展[J];稀土;2011年04期
2 吴尝;朱克荣;马永青;;固相法制备ZnO纳米晶的变温拉曼光谱[J];阜阳师范学院学报(自然科学版);2011年02期
3 吴尝;朱克荣;马永青;;固相反应法制备ZnO纳米晶的变温拉曼光谱[J];合肥工业大学学报(自然科学版);2011年07期
4 玄兆坤;魏淑丽;;钛酸钡掺杂镧陶瓷的电学性质研究[J];承德民族师专学报;2011年02期
5 张骁;范景莲;韩勇;田家敏;刘辉明;;纳米W、Cu固溶行为的研究[J];中国钨业;2011年03期
6 弓莹;张卫华;高雯雯;慕苗;;醇水溶液中ZnO-TiO_2纳米晶的合成及其光催化性能研究[J];科学技术与工程;2011年19期
7 贾秋梓;邬素华;;LDPE/电气石复合薄膜的制备及性能研究[J];塑料科技;2011年09期
8 范景莲;曾毅;刘涛;龚星;田家敏;;纳米晶W-Ni-Fe复合粉末及其烧结过程中的固溶特性[J];稀有金属材料与工程;2011年07期
9 柴多里;杨少东;袁新松;杨保俊;;α-MnS纳米晶的制备与表征[J];硅酸盐学报;2011年07期
10 陈立桥;刘伟平;陈家林;杨贤锋;刘佳;扶雄辉;吴明娒;;磁铁矿与赤铁矿型纳米晶的形貌和尺寸控制生长及其性能调变[J];中国科学:化学;2011年07期
11 魏浩桐;杨柏;;聚合物与纳米晶的杂化及性能优化[J];高分子学报;2011年09期
12 王新星;王海燕;陈瑞灿;王星雨;韩永刚;薛进奎;张家朝;;提拉法制备聚苯胺/碳纳米管复合薄膜及性能研究[J];化工新型材料;2011年07期
13 白爱英;梁伟;;叠层型Cu沉积TiO_2复合薄膜的制备及光学性能[J];稀有金属;2011年04期
14 陈辉;马勤;宋秋香;;机械化学还原法快速制备Mo_5Si_3-Al_2O_3纳米复合粉体(英文)[J];Transactions of Nonferrous Metals Society of China;2011年07期
15 王挺;蒋新;夏增敏;;铁掺杂对TiO_2薄膜结晶和光诱导超亲水性的影响[J];化学反应工程与工艺;2010年02期
16 鲍光炎;;水热法制备纳米晶构筑的球状CuO[J];华章;2011年22期
17 尹海亮;周同娜;柳云骐;刘晨光;;Y型分子筛纳米晶的制备及其在柴油加氢精制催化剂中的应用[J];石油炼制与化工;2011年07期
18 赵静;孙越;李永军;梁韧;;“三明治式”多层Au/Pt复合薄膜的制备及其对甲醇的电氧化(英文)[J];物理化学学报;2011年08期
19 管航敏;冯燕;张凌云;韩成良;;反相微乳液水热法自组装LaF_3纳米晶制备新型一维LaF_3纳米链[J];合成化学;2011年04期
20 徐慧;史铁钧;孙建新;杨兆攀;;丙烯酸丁酯-苯乙烯-丙烯腈共聚物/二氧化钛复合薄膜的制备、表征及性能[J];合成橡胶工业;2011年04期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 戴嘉维;胡祖光;祝新发;陈练;李戈扬;;反应溅射Ti-Si-N纳米晶复合薄膜研究[A];第十三届全国电子显微学会议论文集[C];2004年
2 蒋建清;;Ti-Al-C-N高硬度复合薄膜的研究[A];2010年海峡两岸功能性复合材料论坛论文集[C];2010年
3 张俊英;;PAN/ZnO复合薄膜的光致发光性能的研究[A];2004年中国材料研讨会论文摘要集[C];2004年
4 宁廷银;陈聪;张东香;王灿;周岳亮;陈正豪;杨国桢;;Au/CaCu_3Ti_4O_(12)复合薄膜的三阶非线性光学性质研究[A];第八届全国光学前沿问题讨论会论文集[C];2009年
5 许素云;庞山;程轲;杜祖亮;;CIS/TiO_2复合薄膜的制备及其光电性质[A];中国化学会第28届学术年会第4分会场摘要集[C];2012年
6 徐雪青;沈辉;胡芸菲;;WO_3-SiO_2复合薄膜结构和气致变色性能研究[A];第一届全国纳米技术与应用学术会议论文集[C];2000年
7 柯满竹;陈文;王俊峰;石兢;;聚合物修饰V_2O_5纳米复合薄膜的性能研究[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅱ[C];2004年
8 刘海波;李雪梅;徐宝琨;李熙;赵慕愚;;纳米晶α—Fe_2O_3材料气敏性质的研究[A];首届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];1992年
9 杨柏;;功能性聚合物与纳米晶杂化材料的制备和性能优化[A];2011年全国高分子学术论文报告会论文摘要集[C];2011年
10 许华娟;宋根萍;郭荣;;仿生超疏水聚苯胺/聚苯乙烯复合薄膜的制备及性能[A];中国化学会第28届学术年会第12分会场摘要集[C];2012年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 李红;二氧化钛纳米晶的溶胶法低温制备机理及其掺杂研究[D];浙江大学;2009年
2 单桂晔;荧光纳米晶的制备及其在免疫学中应用的初步研究[D];吉林大学;2004年
3 马玉丹;利用寡聚DNA构建纳米晶有序结构[D];吉林大学;2008年
4 纪小会;胶体纳米晶的水相合成与室温表面配体化学[D];吉林大学;2007年
5 胡海龙;Si基纳米晶阵列的制备及特性研究[D];兰州大学;2006年
6 郑金桔;过渡金属(Mn、Cu)掺杂纳米晶的制备和光电子性质研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2010年
7 赵军伟;稀土掺杂NaYF_4上转换发光纳米晶的水相合成、表征及其生物应用探索[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2010年
8 戴全钦;CdSe等半导体纳米晶的合成及性质研究[D];吉林大学;2007年
9 张代生;上转换微纳米晶@TiO_2核/壳结构红外光催化材料的制备和表征[D];吉林大学;2011年
10 孙海珠;纳米晶/聚合物复合光电功能材料的制备及其性质研究[D];吉林大学;2008年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 刘杰;基于无机纳米晶/聚合物复合薄膜电双稳特性研究[D];北京交通大学;2011年
2 宗建娟;胶溶法制备TiO_2纳米晶溶胶及其应用研究[D];浙江大学;2010年
3 谢主伟;纳米SiO_2/TiO_2亲水复合薄膜的制备及性能研究[D];华南理工大学;2010年
4 张慧;Mg-Ni复合薄膜的制备及性能研究[D];浙江大学;2011年
5 李静;纳米二氧化钛复合薄膜的制备及性能研究[D];济南大学;2010年
6 周冰晶;模板剂对掺镧介孔纳米晶TiO_2微结构的影响[D];燕山大学;2010年
7 丁美凤;MgO过渡层诱导Ba/Sr铁氧体薄膜的制备及磁性能研究[D];电子科技大学;2011年
8 余方丹;木质素基两性表面活性剂对ZnO纳米晶控制制备[D];东北林业大学;2011年
9 李钱陶;Sol-Gel法制备Ag-SiO_2纳米复合薄膜及其光学性能研究[D];武汉理工大学;2003年
10 柯满竹;聚合物修饰V_2O_5纳米复合薄膜的合成、结构及性能[D];武汉理工大学;2003年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 于洋 记者 李泳沩;无机纳米晶研究获新成果[N];吉林日报;2010年
2 记者任福海;我国已能制备无机纳米晶[N];中国技术市场报;2010年
3 李力;聚多巴胺基复合薄膜研究获得新进展[N];中国包装报;2010年
4 赵世亮;复合薄膜的曲率与材料的热收缩率差异[N];中国包装报;2011年
5 ;如何获得挺性好的复合薄膜[N];中国包装报;2002年
6 赵世亮;关于检测复合薄膜柔软度指标的探讨[N];中国包装报;2009年
7 杨林;新型陶瓷复合薄膜研制出[N];广东建设报;2009年
8 林其水;常用软包材的特性和应用[N];中国包装报;2007年
9 ;纳米晶陶瓷快速成型设备研制成功[N];今日信息报;2004年
10 田学科;以色列用DNA装配纳米晶体管[N];科技日报;2004年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978