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结合体构造的Monte Carlo方法模拟扫描电镜成像衬度

李会民  丁泽军  
【摘要】:正 扫描电镜中的低能二次电子信号主要反映试样的表面形貌特征,而较高能量的背散射电子信号既包含了试样的表面信息,也可表征试样的结构差异和内部成分。对二次电子和背散射电子信号产生过程的计算模拟研究有助于理解扫描电子显微镜的成

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