收藏本站
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

物理气相沉积过程的亚稳相的热力学预测

张宇奇  杜勇  
【摘要】:多元合金膜已成为硬质薄膜的发展热点之一,而发展新的薄膜材料体系也成为颇为紧迫的一项工作。PVD法制备薄膜时,可以得到与设计成分极为相似的结构,并且在改变基体温度时可以获得不同的结构与成分的亚稳相。考虑文献中报道的相图及热力学数据,通过热力学计算估计合金体系亚稳相的范围对薄膜材料的成分设计和PVD过程设计都具有相当重要的指向作用。因此,加强热力学计算在薄膜领域的应用,将加速新型薄膜材料体系的开发。

知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前20条
1 高智中;叶苗;张程;;一类新的混沌系统及其混沌控制[J];常熟理工学院学报;2011年04期
2 高智中;;一个新的超混沌吸引子及其控制[J];沈阳工程学院学报(自然科学版);2011年03期
3 王春栋;滕保华;程登木;周飞;;两表面层铁电薄膜体介质层效应理论研究[J];四川师范大学学报(自然科学版);2011年05期
4 汪伟;江健武;钟建灵;余英;汲胜昌;;基于分岔理论的铁磁谐振研究[J];南方电网技术;2011年03期
5 徐冬;赵中伟;陈爱良;刘旭恒;陈星宇;;氧化锌的碱法浸出[J];北京科技大学学报;2011年07期
6 刘伟;李斌;周秋生;齐天贵;彭志宏;刘桂华;李小斌;;Na_2CO_3-CO_2-H_2O体系处理铬渣的热力学分析[J];中南大学学报(自然科学版);2011年05期
7 张义文;王福明;胡本芙;;铪对FGH97合金平衡相影响的评估[J];北京科技大学学报;2011年08期
8 高智中;;三维类Lorenz混沌系统的变形与超混沌实现[J];西南科技大学学报;2011年02期
9 吴华林;王福明;李长荣;张博;;Nb对转K2弹簧钢中MX析出相的影响[J];北京科技大学学报;2011年08期
10 梁静;李来平;奚正平;汤慧萍;;TZM合金真空烧结脱氧的机制分析[J];稀有金属材料与工程;2011年06期
11 苏程;尹朋朋;;齿轮系统非线性动力学特性分析[J];中国机械工程;2011年16期
12 霍向东;毛新平;吕盛夏;林振源;陈麒琳;;CSP生产Ti微合金化高强钢中纳米碳化物[J];北京科技大学学报;2011年08期
13 曹素兵;朱婵;;Jeffcott转子系统碰摩的非线性行为研究[J];机械;2011年08期
14 刘洪臣;孙立山;;混沌电路的创新综合性实验的设计与实现[J];电气电子教学学报;2011年03期
15 胡旭;屈宗长;于漠南;孙金菊;;平动回转式压缩机的几何理论[J];中国机械工程;2011年16期
16 何松林;;一类含立方项非线性振动微分方程的解析解[J];河南科技大学学报(自然科学版);2011年05期
17 ;[J];;年期
18 ;[J];;年期
19 ;[J];;年期
20 ;[J];;年期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 张宇奇;杜勇;;物理气相沉积过程的亚稳相的热力学预测[A];第十二届全国相图学术会议论文集[C];2004年
2 熊伟;杜勇;刘咏;黄伯云;徐洪辉;;Mo-Nb-Ta三元相图的热力学优化[A];第十二届全国相图学术会议论文集[C];2004年
3 董凌燕;陈登福;汪传均;白晨光;;Al_2O_3-SiO_2-TiO_2三元相图的数字化[A];2004年全国冶金物理化学学术会议专辑[C];2004年
4 傅晓亮;李长荣;李梅;张维敬;;Ag-Ti二元系局部相平衡研究[A];第十二届全国相图学术会议论文集[C];2004年
5 王季陶;万永中;刘志杰;张卫;;非平衡定态相图及其计算原理——激活低压金刚石气相生长热力学[A];第九届全国相图学术会议论文集[C];1997年
6 刘志杰;张卫;万永中;王季陶;;氧原子在化学气相淀积金刚石过程中的作用[A];第三届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];1998年
7 张国杰;邱枫;张红东;杨玉良;;自洽场理论Fourier空间新解法[A];中国化学会第27届学术年会第07分会场摘要集[C];2010年
8 林郭强;孙志辉;蔡格梅;徐小洁;曾令民;;M(M=Fe,Ni,Co,Cr)-Pb-Sb三元系合金相图[A];第十二届全国相图学术会议论文集[C];2004年
9 钟菊花;张月兰;朱勇;顾懿;;大学物理研究型教学中非线性振子的探讨[A];2005年全国高校非物理类专业物理教育学术研讨会论文集[C];2005年
10 宋利珠;吴凤清;杨桦;赵慕愚;;相图的边界理论在相图教学中的应用[A];第八届全国大学化学教学研讨会论文集[C];2005年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 任玉平;Al-Zn-Cu三元系低Cu侧相平衡、相变与扩散的研究[D];东北大学;2005年
2 唐成颖;Al-Ce-Mn-Ni体系相平衡与非晶形成能力研究[D];中南大学;2008年
3 龚伟平;BaO-SrO-TiO_2-ZrO_2赝四元系热力学优化与计算及性能研究[D];中南大学;2002年
4 郑公平;光格子中的BEC及铁磁膜中的畴壁和畴结构[D];山西大学;2005年
5 万强;相图边界理论的研究与应用[D];吉林大学;2006年
6 杨春成;纳米晶体的尺寸和压力效应[D];吉林大学;2006年
7 范秀山;三维图像处理方法在固液吸附研究中的应用[D];四川大学;2000年
8 范兴祥;一种环境友好的黄铜矿浸出新工艺及理论研究[D];昆明理工大学;2006年
9 吕睿;热致相分离法制备EVOH微孔膜的基础研究[D];复旦大学;2006年
10 冯大河;非线性波方程的精确解与分支问题研究[D];昆明理工大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 周甫方;固相线下Ce-Co-Al三元体系相关系及Ce_2Co_(15-x)Al_(2+x)化合物晶体结构和磁性研究[D];汕头大学;2005年
2 胡晶;硫酸钙制取硫酸钾相图及应用研究[D];合肥工业大学;2006年
3 张修兴;分形晶格上量子自旋系统相变问题的研究[D];曲阜师范大学;2006年
4 魏贤华;一种关于水盐体系固液平衡相图预测的新方法[D];成都理工大学;2002年
5 李先铭;复杂网络演化过程中相变问题的研究[D];曲阜师范大学;2006年
6 熊耀志;Gd-Sb-Ti三元系合金相图500℃等温截面的测定[D];广西大学;2007年
7 崔雪鸿;Gd-Fe-Sb三元系合金相图773K等温截面[D];广西大学;2007年
8 姜文正;偶极流体的相变理论[D];中国石油大学;2007年
9 高中扬;分形晶格上量子反铁磁Heisenberg系统相变的研究[D];曲阜师范大学;2008年
10 张保敏;钙钛矿结构锰氧化物基态特性研究[D];山东大学;2008年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 记者 王绯;“掌上书房”亮相图博会[N];科技日报;2000年
2 姚学文 刘泽民;金展鹏:“金氏相图测定法”的创立者[N];湖南经济报;2006年
3 薛文东 邓乐锐;新型耐火材料——镁阿隆(MgAION)材料(一)[N];世界金属导报;2007年
4 钟海波;变文之“变”[N];光明日报;2003年
5 刘云鹏 牛揆;王相图画 太行之魂[N];安阳日报;2007年
6 本报记者 徐可可;用高品质产品打开中国市场[N];中国冶金报;2009年
7 徐向其 贺耀堂 王春楠;第四组将军崖岩画惊现世间[N];连云港日报;2005年
8 窦为学 边育智 朱德存 徐学永;控制关键元素 强化钢种塑性[N];中国冶金报;2006年
9 本报记者  李伦娥;导师:人生之师[N];中国教育报;2006年
10 主讲人 薛文东 博士;关注新型耐火材料[N];中国冶金报;2007年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978