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光学膜层激光预处理过程研究

蒋晓东  卓志云  卓东雷  黄祖鑫  
【摘要】:光学元件经过激光预处理后,其抗激光破坏能力最大提高2倍以上,系统研究激光预处理机理和工艺,能安全可靠地提高光学元件损伤阈值,提升高功率激光系统的能量密度。工作研究了几种sol-gel膜、PVD膜在预处理前后膜层表面的变化(损伤形貌),损伤阈值的增幅,发现预处理过程膜层仍然发生了一定程度的轻微损伤,这种损伤和膜层本身缺陷、激光参数密切相关,证实预处理过程是膜层缺陷的逐步消除过程。

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