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用一氧化碳作气体放电媒质的VUV光源

Akimitsu Hatta  Keishi Yanai  
【摘要】:正 介绍本文作者致力于用等离子体增强化学蒸气沉积达到金刚石合成的研究。一氧化碳气体也可以作为金刚石的原始材料,在将一氧化碳高度浓缩制成金刚石的试验中,在石英窗口旁(view window of quartz)能闻到强烈的臭氧。根据这一事实,一氧化碳气体放电可以作为剧烈的紫外发射源。在这一研究中,利用一氧化碳气体放电制成了新颖的VUV光源。试验

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