收藏本站
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

水分和氧气对单晶硅摩擦化学行为的影响

王晓东  余家欣  陈磊  钱林茂  
【摘要】:随着纳米科技的发展,各类微机电系统的开发已经成为目前研究的热点之一。单晶硅是微机电系统中应用最广泛的材料,具有优良的结构性能和半导体特性。在硅材料的微机电系统中,考察其摩擦磨损对微机电系统的正常工作及其寿命有着十分重要的意义;另外,还可以为微机电系统的设计提供依据和准则。

知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前20条
1 于翮;张强;乔大勇;俞坚;;电液动力微泵微电极的不同制作工艺的比较(英文)[J];光学精密工程;2009年07期
2 王瑞金;楼少敏;;用于微机电系统的磁流体微泵的研究[J];功能材料与器件学报;2006年03期
3 于翮;张强;乔大勇;俞坚;;基于电液动力效应的离子拖曳微泵(英文)[J];光学精密工程;2009年06期
4 万遇良;二十一世纪的机电一体化技术[J];机电信息;1996年10期
5 郑利兵;石庚辰;;基于功能结构的MEMS弹簧设计方法[J];纳米技术与精密工程;2006年02期
6 黄杰;葛文杰;;平面双稳态柔性机构的设计[J];机械制造;2006年09期
7 李俊;沈雪明;应济;徐亮;;基于MEMS的扩张管/收缩管内流动特性分析[J];机床与液压;2008年12期
8 蔡占军;翁海珊;俞必强;;VC和FORTRAN混合编程及其在微机电系统中的应用[J];机械设计与制造;2008年04期
9 王晓娜;张亚军;庄俭;吴大鸣;;微型泵的研究与发展[J];流体机械;2010年07期
10 王皓;姚汉民;杜春雷;;一种基于惯性动量作用的微压电泵[J];压电与声光;2006年01期
11 俞必强;翁海珊;李疆;邱丽芳;;多学科变量耦合优化设计方法[J];北京科技大学学报;2007年05期
12 何光;石庚辰;;平面S型与平面W型MEMS弹簧性能比较研究[J];传感技术学报;2008年02期
13 刘庆玲;翁海珊;;微机电中的摩擦特性与有序薄膜润滑[J];机械设计与制造;2008年02期
14 邓昭,饶文琦,任天辉,余来贵,刘维民,余新良;微机电系统的微观摩擦学研究进展[J];摩擦学学报;2001年06期
15 丁雷;尚德广;张大成;沈通;贾冠华;阎楚良;;基于谐振原理的微机械疲劳试验装置的研究[J];机械强度;2006年05期
16 孙丽波;许立忠;;微板机电耦合非线性动力学分析[J];中国机械工程;2009年16期
17 何宇航;张文明;孟光;武洁;;随机粗糙表面对微气体轴承性能的影响[J];润滑与密封;2011年06期
18 王爱俊,余雄庆,陈大融;复杂微机电系统多学科设计方法研究[J];机械设计;2000年11期
19 蔡敢为,王文龙,刘平,朱从云;微机械动力学研究[J];湘潭矿业学院学报;2002年01期
20 万遇良;第十讲 机电一体化技术展望[J];机械工人.冷加工;1996年10期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 王晓东;余家欣;陈磊;钱林茂;;水分和氧气对单晶硅摩擦化学行为的影响[A];2011年全国青年摩擦学与表面工程学术会议论文集[C];2011年
2 张伟;张纾;田中章浩;徐滨士;;类金刚石多层膜在不同环境下的摩擦学行为[A];第六届全国表面工程学术会议暨首届青年表面工程学术论坛论文集[C];2006年
3 杜永平;;有针对性地使用铁谱技术[A];第三届全国青年摩擦学学术会议论文集[C];1995年
4 朱旻昊;蔡振兵;林修洲;何莉萍;张强;;扭动微动磨损的研究进展[A];2009年全国青年摩擦学学术会议论文集[C];2009年
5 苏荔;刘成业;;旋转机械轴承摩擦磨损机理试验研究[A];2009年全国青年摩擦学学术会议论文集[C];2009年
6 路新春;史兵;雒建斌;温诗铸;;扫描探针显微镜在纳米摩擦学研究中的应用[A];第三届全国青年摩擦学学术会议论文集[C];1995年
7 ;武汉材料保护研究所摩擦磨损研究室[A];'99摩擦学表面工程学术会议论文集[C];1999年
8 宿月文;朱爱斌;陈渭;谢友柏;;履带系统内摩擦分析以及对整机牵引性能影响的研究[A];第八届全国摩擦学大会论文集[C];2007年
9 张博;徐滨士;许一;王晓丽;;微/纳米硅酸盐矿物作为润滑油添加剂的摩擦学及自修复性能研究[A];第七届全国表面工程学术会议暨第二届表面工程青年学术论坛论文集(一)[C];2008年
10 史兵;雒建斌;温诗铸;秦力;赵磊;严纯华;罗俊;贾江涛;王明文;;FALEX实验测试稀土元素添加剂的润滑性能[A];第六届全国摩擦学学术会议论文集(下册)[C];1997年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 周健斌;微型转子轴承系统动力学问题研究[D];上海交通大学;2009年
2 黄海;微型轴承—转子系统动力特性的研究[D];上海交通大学;2007年
3 曹宇;激光—微笔/微喷直写集成制造MEMS微结构关键技术研究[D];华中科技大学;2009年
4 焦素娟;纯水液压柱塞泵及溢流阀关键技术的研究[D];浙江大学;2004年
5 杨曙东;基于海水润滑的中高压海水液压泵研究[D];华中科技大学;2005年
6 李敦钫;碳化硅和氧化铝基陶瓷材料的摩擦磨损特性研究[D];昆明理工大学;2003年
7 莫云辉;新型磨损自修复润滑剂的研制及其摩擦学特性和应用性研究[D];上海大学;2010年
8 胡宁宁;三膦基硼酸银添加剂的高温摩擦学性能研究[D];中国矿业大学;2011年
9 关乐;基于宏模型技术的MEMS系统级仿真研究[D];大连理工大学;2011年
10 梁小平;Y-TZP基陶瓷材料摩擦磨损的研究[D];天津大学;2003年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 张万利;静电微泵性能模拟的关键基础技术研究[D];浙江大学;2005年
2 全定策;磁力轴承结构设计及其转子结构特性分析[D];武汉理工大学;2004年
3 岳文;陶瓷添加剂对钢/钢接触疲劳及滑动磨损性能的影响及机理研究[D];中国地质大学(北京);2006年
4 林建荣;游离磨料线切割硅晶体过程的振动研究[D];广东工业大学;2008年
5 张新;TI蜗杆副材料及含纳米粒子润滑油摩擦学性能研究[D];天津大学;2005年
6 向东湖;水润滑下工程塑料及陶瓷涂层的摩擦学特性研究[D];华中科技大学;2005年
7 陈文刚;硅酸盐粉体作为添加剂对金属摩擦副磨损特性影响的研究[D];大连海事大学;2006年
8 李良;球磨态膨胀石墨的结构表征和摩擦学性能研究[D];燕山大学;2009年
9 任宗英;摩擦磨损过程摩擦振动特征提取方法的研究[D];大连海事大学;2012年
10 田晓;陶瓷材料摩擦副的摩擦磨损特性研究[D];天津大学;2004年
中国重要报纸全文数据库 前6条
1 记者 曹阳 通讯员 高琴伟;晶龙集团再上20条生产线[N];中国化工报;2010年
2 ;加强创新打破国外高端设备技术封锁与垄断[N];中国电子报;2009年
3 董雅俊;程丹;“摩圣”技术:勇闯我国摩擦领域 [N];中国冶金报;2002年
4 董雅俊 程丹;“摩圣技术”引起多方关注[N];中国矿业报;2002年
5 力健 王锋;“摩圣”———启动绿色再生时代[N];中国企业报;2003年
6 记者高翔;全国机械设备减磨修复节能技术研讨会在京召开[N];中国冶金报;2010年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978